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        薄膜厚度及其测量方法

        2021-07-09


        薄膜厚度是薄膜最重要的参数之一,它影响着薄膜的各种性质及其应用。

        薄膜淀积速率是制膜工艺中的一个重要参数,它直接影响薄膜的结构的特性。

        重点:薄膜厚度的测量和监控。

        厚度:是指两个完全平整的平行平面之间的距离。

        理想薄膜厚度:基片表面到薄膜表面之间的距离。

        由于薄膜具有显微结构,要严格定义和精确测量薄膜厚度,实际上比较困难的。

        薄膜厚度的定义是与测量方法和目的相关的。

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        膜厚的测试方法:

        1.形状膜厚:

        测试手段及方法:机械方法(触针法,测微计法)、光学方法(多次反射干涉法,双光纤干涉法)、其他方法(电子显微镜法)

        2. 质量膜厚:

        测试手段及方法:质量测定法(化学天平发,微量天平法,扭力天平法,石英晶体振荡法)、原子数测量法(比色法、X射线荧光法、离子探针法、放射性分析法)

        3. 物性膜厚:

        测试手段及方法:电学方法(电阻法、电容法、涡流法、电压法)、光学方法(干涉色法、椭圆偏振法、光吸收法)


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